【原创】对于特殊危害防护
所有特别危害(如易燃气体及爆炸性粉末等)的防火区划、重电器防暴及消防设施上规划，必须能在最坏的情况下控制得当。对于贵重或重要设备，必须设有互锁装置，是随时程度降至最低。以湿式蚀刻槽而言，依照SEMI S3标准，应有：
——接地或接地失效短路式加热器，但是对于使用石英隔离加热器者不在此要求之列。在加热元件周围绝缘体之多寡与加热器种类有关，绝缘体不但可提供腐蚀性材质之保护，并且可作为电力绝缘。
——电力加热元件必须接地且有国家认证机构认证，漏电断路器使用与保护员工电击之风险，对于不同的危险区段应符合国家电力法规。
——过电流保护：使用保险丝断路装置或切断电路装置必须与电热器之安培书相考量。
——手动复归：电力中断时必须具有手动重新供电装置。
——自动温度过高控制：自动温度控使加热元件开启以维持液体在设定温度以上，控制器由位于槽内只侦测器送出讯号而启动，为维持系统之完整性，每季维护/测试及矫正是必要的。
——液位控制计：当液位降低至安全操作限制下，液位计会关闭加热器，如果使用侵入式或外接式加热器，建议液位计感度不低于加热元件以上5公分，应避免因由液体产生之热沉陷而造成损失。在考量液位计之材质时，应注意加热液体种类与环境因子及液位计之失效模式。为维持这些元件之整合性，应每季测试。
——合适的构筑材料：遭受之所有可能与槽内部只化学物质应有相容性，当使用易燃或可燃性化学物质使用金属材质。
——电力断路：如果在过温度，低液位或接地失误，加热电源必须因而切断并使设备在失效安全状况。断路器必须是与任何自动温度控制之隘子分离。
——排气失效内锁装置
——过温度保护：可分为液体过温度及加热元件只过温度保护。以前者而言，专属只液体温度电极反应设定在化学物质之自然性温度之下，不可以高于正常操作温度10摄氏度以上。电极应至于液体内部其高度约在加热元件正上方7公分一下，后者是如果加热器之元件表面温度超过操作值，电极应置于电阻线圈及保护外壳间。
对于工厂附近暴露及天然力控制
设工厂初期考量工厂附近是否有核能电厂，化工厂等高风险工业，其他厂址地震、飓风及洪水等天灾人祸在架构物抵抗力。
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